| ... | @@ -11,6 +11,7 @@ CSS: table.css |
... | @@ -11,6 +11,7 @@ CSS: table.css |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
[параметры]
|
|
[параметры]
|
|
|
|
| Параметр | Значение |
|
|
|
|=|=|
|
|
|=|=|
|
|
|
| Разрешение для тока пучка I > 2 мА | 2-3 мкм |
|
|
| Разрешение для тока пучка I > 2 мА | 2-3 мкм |
|
|
|
| Разрешение пооборотных измерений для тока пучка I > 2 мА | лучше 15 мкм |
|
|
| Разрешение пооборотных измерений для тока пучка I > 2 мА | лучше 15 мкм |
|
| ... | | ... | |
