... | @@ -12,7 +12,7 @@ CSS: table.css |
... | @@ -12,7 +12,7 @@ CSS: table.css |
|
|
|
|
|
[параметры]
|
|
[параметры]
|
|
| Параметр | Значение |
|
|
| Параметр | Значение |
|
|
|=|=|
|
|
|---|---|
|
|
| Разрешение для тока пучка I > 2 мА | 2-3 мкм |
|
|
| Разрешение для тока пучка I > 2 мА | 2-3 мкм |
|
|
| Разрешение пооборотных измерений для тока пучка I > 2 мА | лучше 15 мкм |
|
|
| Разрешение пооборотных измерений для тока пучка I > 2 мА | лучше 15 мкм |
|
|
| Зависимость результата измерения от тока пучка в диапазоне среднего тока для одного сгустка I = 1-20 мА | не более 50-80 мкм |
|
|
| Зависимость результата измерения от тока пучка в диапазоне среднего тока для одного сгустка I = 1-20 мА | не более 50-80 мкм |
|
... | | ... | |